使用温度に応じて、炉管には高純度石英または高純度アルミナを採用し、真空シールフランジシステムを装備しています。主に真空または保護雰囲気下において、多段階の温度設定を必要とする材料の予備焼成、焼成、コーティング、高温熱分解・低温堆積（CVD）プロセス、カーボンナノチューブやシリコンナノワイヤの作製などに最適です。
最高温度： * 1200℃（HRE鉄クロムアルミ抵抗線加熱）
1400℃（SiCシリコン炭化物ヒーター加熱）
1600℃（MoSi2二珪化モリブデンヒーター加熱）
インテリジェント制御： 50ステップのプログラム自動制御システムを搭載。
筐体構造： 二重構造の空冷システムを採用。
密封性： ステンレス製ダブルシールフランジを採用。
炉管保護： 両端に調整可能なフランジ支持構造を備え、炉管の寿命を延ばします。
過昇温保護機能： 温度が設定値を超えた場合、自動で電源を遮断します。
漏電保護機能： 炉体に漏電が発生した際、自動で電源を遮断する安全設計。
昇温速度： ≦20℃/分
温度制御精度： ±1℃
最大真空度： -0.1MPa
高真空対応： ターボ分子ポンプユニットの構成により、最大 7x10⁻⁴Pa まで到達可能。
● 管堵（炉口断熱材）4個
● 熱電対 1本
● 炉管 1本
● 真空ポンプ 1台
● 真空フランジ 1セット
● 真空圧力計 1個
| 型番 | 炉管径 x 加熱長 (mm) | 出力 (kW) | 最高温度 (℃) | 常用温度 (℃) | 熱電対 | 炉管材質 | 加熱エレメント |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 12NVT-40/300 | 40x300 | 3 | 1200 | 1100 | K型 | 石英管 | モリブデン含有抵抗线 |
| 12NVT-60/300 | 60x300 | 3 | |||||
| 12NVT-80/300 | 80x300 | 5 | |||||
| 12NVT-100/300 | 100x300 | 5 | |||||
| 12NVT-120/300 | 120x300 | 6 | |||||
| 12NVT-40/450 | 40x450 | 3 | |||||
| 12NVT-60/450 | 60x450 | 3 | |||||
| 12NVT-80/450 | 80x450 | 5 | |||||
| 12NVT-100/450 | 100x450 | 5 | |||||
| 12NVT-120/450 | 120x450 | 6 |
| 型番 | 炉管径 x 加熱長 (mm) | 出力 (kW) | 最高温度 (℃) | 常用温度 (℃) | 熱電対 | 炉管材質 | 加熱エレメント |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 14SVT-40/300 | 40x300 | 4 | 1400 | 1300 | S型 | アルミナ管 | シリコン炭化物ヒーター |
| 14SVT-60/300 | 60x300 | 4 | |||||
| 14SVT-80/300 | 80x300 | 4 | |||||
| 14SVT-100/300 | 100x300 | 6 | |||||
| 14SVT-120/300 | 120x300 | 6 | |||||
| 14SVT-40/450 | 40x450 | 4 | |||||
| 14SVT-60/450 | 60x450 | 4 | |||||
| 14SVT-80/450 | 80x450 | 4 | |||||
| 14SVT-100/450 | 100x450 | 6 | |||||
| 14SVT-120/450 | 120x450 | 6 |
| 型番 | 炉管径 x 加熱長 (mm) | 出力 (kW) | 最高温度 (℃) | 常用温度 (℃) | 熱電対 | 炉管材質 | 加熱エレメント |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 16MVT-40/300 | 40x300 | 4 | 1600 | 1500 | B型 | アルミナ管 | 二珪化モリブデン |
| 16MVT-60/300 | 60x300 | 4 | |||||
| 16MVT-80/300 | 80x300 | 4 | |||||
| 16MVT-100/300 | 100x300 | 6 | |||||
| 16MVT-120/300 | 120x300 | 6 | |||||
| 16MVT-40/450 | 40x450 | 5 | |||||
| 16MVT-60/450 | 60x450 | 5 | |||||
| 16MVT-80/450 | 80x450 | 5 | |||||
| 16MVT-100/450 | 100x450 | 9 | |||||
| 16MVT-120/450 | 120x450 | 9 |