CVD/PECVD装置は、プラズマ化学気相成長技術（PECVD）をベースとした薄膜堆積装置です。金属、半導体、絶縁体など様々な材料の薄膜形成が可能であり、マイクロエレクトロニクス、フォトニクス、フラットパネルディスプレイ（FPD）、エネルギー貯蔵などの分野で幅広く活用されています。
最高温度： 1200℃（HRE抵抗線加熱）
インテリジェント制御： 50ステップのプログラム自動制御システム。
筐体構造： 二重構造の空冷システムにより、外郭表面温度を50℃以下に保持。
高品質な断熱材： 日本の技術を用いた真空吸引成形による高品質アルミナ多結晶ファイバーを採用し、優れた保温性能を実現。
高真空密封： SUS304ステンレス製KFクイックリリースフランジを採用。
高い堆積性能： RFグロー放電技術により、最大10Å/Sの高速デポジション（堆積）を実現。
優れた均一性： 先進のマルチポイントRFフィードイン技術、特殊なガス流路設計、および加熱技術により、膜厚均一性8%以内を達成。
高い再現性： 半導体業界の設計理念に基づき、バッチ内の基板間偏差を2%以下に抑制。
安全機能： 過昇温保護（自動断電）、漏電保護機能を搭載。
標準構成： 直結型真空ポンプ（到達真空度10Pa）、3系統のマスフローコントローラ（MFC）を標準装備。
高周波（RF）電源： 最大出力500W、周波数13.56MHz±0.005%、単相AC208-240V入力。
● 高真空システム（ターボ分子ポンプユニット：最大到達真空度 7x10⁻⁴Pa）
● ガス混合システムおよび追加マスフローコントローラ（多系統ガスの精密制御用）
● 高解像度タッチパネル
| 製品名 | CVD化学気相成長システム |
|---|---|
| モデル名 | CVD/PECVD |
| スライド機構 | スライドレール付。炉体の移動により急速昇温・急速冷却が可能 |
| 加熱長 | 400mm（1ゾーン / 2ゾーン対応可） |
| 炉管寸法 | 外径 60mm × 長さ 1200mm |
| 炉管材質 | 高純度石英管 |
| 常用温度 | ≤ 1100℃ |
| 制御方式 | AI搭載PID計装による自動温度制御 |
| 制御精度 | ±1℃（過昇温・断線アラーム機能付） |
| 昇温速度 | 推奨 0～10℃/min |
| 加熱エレメント | 高品質抵抗線 |
| 項目 | 仕様内容 |
|---|---|
| 定格電圧 | 単相 220V 50Hz |
| 対応ガス | N2、Arなどの不活性ガス、および各種プロセスガス |
| 真空フランジ | ガス導入ポート、圧力調整バルブ、自動リークバルブ、排気バルブ装備 |
| ガス供給システム | 4系統の高精度マスフローコントローラ（MFC）、タッチパネル制御 |
| 真空排気系 | ロータリーポンプ（空炉・冷態時 到達真空度 1Pa）、高精度デジタル真空計 |
| 圧力制御 | 相対圧力 -20kPa ～ 20kPa の範囲で制御可能 |
| 項目 | 仕様内容 |
|---|---|
| 定格電圧 | 単相 220V 50Hz |
| 信号周波数 | 13.56 MHz ± 0.005% |
| 最大出力 | 500W |
| 最大反射電力 | 500W |
| 出力コネクタ | 50Ω N型（メス） |
| 出力安定度 | ±0.1% |
| 高調波成分 | ≤ -50 dBc |
| 供給電圧 | 単相 AC187V ～ 253V (50/60Hz) |
| 冷却方式 | 強制空冷 |
| 型番 | 炉管径 x 加熱長 (mm) | 炉管全長 (mm) | 出力 (kW) | 最高温度 (℃) | ガス制御 | 真空度 (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| CVD-60 | Φ60×400 | 1200 | 3 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
| CVD-80 | Φ80×400 | 1200 | 4 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
| CVD-100 | Φ80×400 | 1200 | 6 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
| 型番 | 炉管径 x 加熱長 (mm) | 出力 (kW) | 最高温度 (℃) | RF電源 | ガス制御 | 真空度 (Pa) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 周波数 | 出力 | ||||||
| PECVD-60 | Φ60×450 | 4 | 1200 | 13.56MHz±0.005% | 300-500W | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
| PECVD-80 | Φ80×450 | 5 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 | ||
| PECVD-100 | Φ100×450 | 7 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 | ||