マッフル雰囲気炉（ボックスタイプ雰囲気炉）

製品概要

　本装置は、事前に真空引きを行うことで炉内の酸素含有量を最小限まで抑え、その後、窒素やアルゴンなどの不活性ガスを導入することで、理想的な雰囲気保護下での熱処理環境を実現します。優れた雰囲気制御能力とコンパクトな実用性により、材料研究室をはじめ、半導体や窒化ケイ素（シリコンナイトライド）製品の小規模生産に広く採用されています。

製品の特徴

　温度範囲： 室温（RT）～1700℃。

　高品質な断熱材： 炉膛（ろどう）にアルミナ多結晶ファイバーを採用。均一な温度分布を実現し、試料への汚染を防ぎます。

　高剛性・高真空構造： 全密閉構造の炉体には厚手の二重鋼板を採用。天面、左右、背面の各面に12mm厚のソリッド角鋼補強材（リブ）を施すことで、真空引き時の変形を防止。最大真空度は -0.08MPa（到達限界 -0.1MPa）を誇ります。

　精密温度制御： 工業用グレード（精度0.2級）のインテリジェント計器を採用。PID制御および50ステップのプログラム設定が可能です。

　優れた密封性： 4つの手動ハンドルによる炉門の締め付けと、高品質シリコンパッキンの採用により、確実な気密性を保持します。

標準付属品

● 炉門用断熱ブロック（1200型を除く）

● 耐熱グローブ

● 坩堝（るつぼ）挟み

● 取扱説明書

● 予備加熱エレメント 2本（1200型を除く）

● 油回転真空ポンプ

オプション（別売）

● 直結型真空ポンプ（高速排気用）

● タッチパネル操作パネル / PC接続用ソフトウェア

● 炉内用坩堝・多層セッター（窯道具）

● 加熱エレメントの変更（SiCヒーター、MoSi2ヒーター）

● ガス供給システム（フロート式流量計 / マスフローコントローラ、2系統・3系統対応）

技術パラメータ

1200シリーズ

1400シリーズ

1700シリーズ